| 3B001.f.3.b.4.b.1 | мінімальний розмір пучка 15 нм або менше; або |
| 3B001.f.3.b.4.b.2 | похибку суміщення менше ніж 27 нм (середнє значення + 3 сигма); |
ПН-ПТ: з 9 до 18
| 3B001.f.3.b.4.b.1 | мінімальний розмір пучка 15 нм або менше; або |
| 3B001.f.3.b.4.b.2 | похибку суміщення менше ніж 27 нм (середнє значення + 3 сигма); |