Єдиний список товарів подвійного використання | НТФ "Інтес" – Професіоналам зовнішньоекономічної діяльності

	Єдиний список товарів подвійного використання
3	Розділ 3. Електроніка
3B	Обладнання для випробування, контролю та виробництва.
3B001	Обладнання для виробництва напівпровідникових приладів або матеріалів і спеціально
3B001.f	обладнання для літографії, а саме:
3B001.f.3	обладнання, спеціально призначене для виробництва фотошаблонів, що має усі такі
3B001.f.3.b	має будь-яку з таких характеристик:

3B001.f.3.b.1	розмір плями, розрахованої як повна ширина пучка на рівні половини максимальної інтенсивності (FWHM), менше ніж 65 нм та розміщення рисунку менше ніж 17 нм (середнє значення + 3 сигма);
3B001.f.3.b.2	не використовується;
3B001.f.3.b.3	похибка суміщення другого шару на фотошаблоні менше ніж 23 нм (середнє значення + 3 сигма);
3B001.f.3.b.4	обладнання, призначене для виготовлення напівпровідникових приладів з використанням методів безпосереднього формування рисунка, що має усі такі характеристики: