| 3B001.f.1 | обладнання для оброблення пластин із використанням методів фотооптичної або рентгенівської літографії з покроковим суміщенням та експонуванням (безпосередньо на пластині) або скануванням (сканер), що має будь-яку з таких характеристик: |
| 3B001.f.2 |
літографічне обладнання для друку, здатне створювати елементи розміром 45 нм або менше;
Примітка. Позиція 3B001.f.2 включає:інструментальні засоби для мікроконтактної літографії;інструментальні засоби для гарячого тиснення;літографічні інструментальні засоби для нанодруку;літографічні інструментальні засоби для нанодруку з фотополімеризацією мономера (S-FIL). |
| 3B001.f.3 | обладнання, спеціально призначене для виробництва фотошаблонів, що має усі такі характеристики: |
Графік роботи:
ПН-ПТ: з 9 до 18
