| 3C002.a.1 | позитивні резисти, пристосовані (оптимізовані) для використання за довжини хвиль менше ніж 245 нм, але не менше ніж 15 нм; |
| 3C002.a.2 | резисти, пристосовані (оптимізовані) для використання за довжини хвиль менше ніж 15 нм, але більше ніж 1 нм; |