| 2B001.c.1.a | "повторюваність однонаправленого позиціонування" дорівнює або менше (краще) ніж 1,1 мкм вздовж однієї або більше лінійних осей; та |
| 2B001.c.1.b | три або більше осі, які можуть бути одночасно скоординовані для "контурного керування"; або |
Mon-Fri: from 9 am to 6 pm
| 2B001.c.1.a | "повторюваність однонаправленого позиціонування" дорівнює або менше (краще) ніж 1,1 мкм вздовж однієї або більше лінійних осей; та |
| 2B001.c.1.b | три або більше осі, які можуть бути одночасно скоординовані для "контурного керування"; або |