| 6A004.e.1 | найбільший розмір оптичної апертури більше ніж 400 мм; |
| 6A004.e.2 | шорсткість поверхні менше ніж 1 нм (середньоквадратична) для базової довжини, що дорівнює або перевищує 1 мм; та |
| 6A004.e.3 |
абсолютну величину коефіцієнта лінійного теплового розширення менше ніж 3 х 10 -6/K за
температури 25° C.
Технічні примітки. 1. "Асферичний оптичний елемент" - будь-який елемент, який використовується в оптичній системі та поверхня або поверхні зображення якого спроектовані таким чином, щоб відрізнятися від форми ідеальної сфери. 2. Від виробників вимагається вимірювати шорсткість поверхні, зазначену в позиції 6A004.e.2, тільки в тих випадках, коли цей оптичний елемент призначено або виготовлено таким, що має чи перевищує контрольний параметр. Примітка. Згідно з позицією 6A004.e контролю не підлягають "асферичні оптичні елементи", які мають будь-яку з наведених нижче характеристик:a) найбільший розмір оптичної апертури менше ніж 1 м, а відношення фокусної відстані до апертури дорівнює або більше 4,5:1;b) найбільший розмір оптичної апертури дорівнює або більше ніж 1 м, а відношення фокусної відстані до апертури дорівнює або більше 7:1;c) спроектовані як оптичні елементи Френеля, флайай, смугові, призматичні або дифракційні оптичні елементи;d) виготовлені з боросилікатного скла та мають коефіцієнт лінійного теплового розширення більше ніж 2,5 х 10 -6/K за температури 25° C; абоe) є рентгенівським оптичним елементом, який може функціонувати як внутрішнє дзеркало (наприклад, трубчасті дзеркала). Особлива примітка. Щодо "асферичних оптичних елементів", спеціально призначених для літографічного обладнання, див. позицію 3B001. |
Графік роботи:
ПН-ПТ: з 9 до 18
