| 3B001.e.1 | засоби сполучення для завантаження та вивантаження пластин, до яких передбачено приєднання більше двох різнофункціональних "інструментів для оброблення напівпровідників", визначених у позиції 3B001.a.1, 3B001.a.2, 3B001.a.3 або 3B001.b; та |
| 3B001.e.2 |
призначені для створення інтегрованої системи "послідовного багатопозиційного оброблення
пластин" у вакуумі;
Примітка. Згідно з позицією 3B001.e контролю не підлягають автоматичні роботизовані системи для завантаження-розвантаження пластин, спеціально призначені для паралельного оброблення пластин. Технічні примітки. 1. Для цілей позиції 3B001.e "інструменти для оброблення напівпровідників" означають інструменти модульної конструкції, що забезпечують такі, різні за функціональністю, фізичні процеси виробництва напівпровідників, як осадження, імплантація або термообробка. 2. Для цілей позиції 3B001.e "послідовне багатопозиційне оброблення пластин" означає здатність обробляти кожну пластину за допомогою різних "інструментів для оброблення напівпровідників", наприклад, шляхом передачі кожної пластини від одного інструмента до другого і далі до третього за допомогою автоматично завантажуваних багатокамерних систем з центральним транспортно-завантажувальним пристроєм. |
Графік роботи:
ПН-ПТ: з 9 до 18
