Єдиний список товарів подвійного використання | НТФ "Інтес" – Професіоналам зовнішньоекономічної діяльності

	Єдиний список товарів подвійного використання
3	Розділ 3. Електроніка
3B	Обладнання для випробування, контролю та виробництва.
3B001	Обладнання для виробництва напівпровідникових приладів або матеріалів і спеціально
3B001.b	обладнання, призначене для іонної імплантації, що має будь-яку з таких характеристик: 8486201000, 8486209000

3B001.b.1	не використовується;
3B001.b.2	призначене та оптимізоване для функціонування за енергії пучка 20 кеВ або більше та сили струму пучка 10 мА або більше для водневих, дейтерієвих або гелієвих імплантів;
3B001.b.3	можливість безпосереднього формування рисунка;
3B001.b.4	енергію пучка 65 кеВ або більше та силу струму пучка 45 мА або більше для високоенергетичної імплантації кисню у нагріту "підкладку" з напівпровідникового матеріалу; або
3B001.b.5	призначене та оптимізоване для функціонування при енергії пучка 20 кеВ або більше та силі струму пучка 10 мА або більше для імплантації кремнію у "підкладку" з напівпровідникового матеріалу, нагріту до температури 600° C або більше;